北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析。

產(chǎn)品型號：SN/RTS-4

更新時間：2024-10-17

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

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產(chǎn)品分類

電力設(shè)備

鉗形表接地故障/電纜故障檢測儀管線故障尋蹤儀電阻測試儀絕緣電阻測試儀（兆歐表）無線/高壓核相儀場強儀信號發(fā)生器/信號測量儀電流發(fā)生器、電流測量儀電力參數(shù)測試儀電阻率測定儀泄漏電流測試儀萬用表、計時器、多用表電泳儀功率測試儀/功率表/功率計示波器/示波表變比測量儀電容耦合測試儀氧化鋅避雷器檢測儀繼電保護測試儀/繼電器變壓器測試儀電位差計/電位儀、電荷測量儀交流/直流穩(wěn)壓電源、程控功率電源電能表/電流表/電壓表/歐姆表、校驗儀電火花檢測儀數(shù)字電橋相位/伏安表絕緣油測定儀頻譜分析儀/示蹤線地下管道/管線檢測設(shè)備其他電力設(shè)備

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品牌	FR/富瑞	產(chǎn)地類別	國產(chǎn)
類型	數(shù)字式電阻測試儀	測量范圍	0.0001～2000ω.cmMΩ
應(yīng)用領(lǐng)域	化工,石油,電子

數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀

型號：SN/RTS-4

產(chǎn)品簡介：

北京單晶硅物理測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。

北京單晶硅物理測試儀儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。

四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技術(shù)參數(shù)：

測量范圍：電阻率：0.0001～2000ω.cm(可擴展)；
方塊電阻：0.001～20000ω/□(可擴展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000ω.cm；

可測晶片直徑：140mmx150mm(配s-2a型測試臺)；
200mmx200mm(配s-2b型測試臺)；
400mmx500mm(配s-2c型測試臺)；

恒流源：電流量程分為0.1ma、1ma、10ma、100ma四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mv；

分辨力：10μv；
輸入阻抗：>1000mω；
精度：±0.1% ；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示；

四探針探頭基本指標：間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000mω；
機械游移率：≤0.3%；
探針：碳化鎢或高速鋼ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

應(yīng)用參數(shù)：(見探頭附帶的合格證)

模擬電阻測量相對誤差（按jjg508-87進行）：0.1ω、1ω、10ω、100ω小于等于0.3%±1字

整機測量大相對誤差：(用硅標樣片：0.01-180ω.cm測試)≤±5%

整機測量標準不確定度：≤5%

測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試

軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù) 大值、小值、平均值、大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到excel中，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。

計算機通訊接口：并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒

標準使用環(huán)境：溫度：23±2℃；相對濕度：≤65%；無高頻干擾；無強光直射。

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